电子级氯化氢是指纯度高于99.999%的高纯氯化氢气体。除了纯度要求高之外，氯化氢气体的质量要求也非常严格。
    随着微电子工业朝着大尺寸、高集成度、高均匀性和高完整性的方向快速发展，广泛应用于单晶硅气相抛光和外延基座腐蚀的电子级氯化氢也有了新的要求。除了纯度大于等于99.999%之外，氯化氢中的有机杂质如THC、H2O和金属离子的含量越低越好。
    电子氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓的高温气相刻蚀，去除钠离子。此外，高纯氯化氢还用于金属表面的化学处理、激光混合气体、薄膜生产和碳纤维表面处理。过去，我国大部分从美国、日本等国家进口电子级氯化氢，但近年来，我国电子工业所需化学气体的研发有了许多突破和发展。推荐阅读：影响氯化氢气体纯度的因素
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